[实用新型]一种节能型多晶硅还原炉有效
申请号: | 202021003521.X | 申请日: | 2020-06-04 |
公开(公告)号: | CN212669222U | 公开(公告)日: | 2021-03-09 |
发明(设计)人: | 张宝顺;任长春;李文民;宗冰;王体虎 | 申请(专利权)人: | 亚洲硅业(青海)股份有限公司;青海省亚硅硅材料工程技术有限公司 |
主分类号: | C01B33/035 | 分类号: | C01B33/035 |
代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 汤东凤 |
地址: | 810007 青海*** | 国省代码: | 青海;63 |
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摘要: | 本实用新型涉及多晶硅装备技术领域,具体为一种节能型多晶硅还原炉,包括炉体钟罩和位于炉体钟罩下端的底盘,炉体钟罩包括位于底盘上端的钟罩直筒和位于钟罩直筒上端的钟罩封头,钟罩封头和钟罩直筒的内侧面均设置有钟罩内层,且钟罩封头和钟罩直筒的外侧面均设置有钟罩外层,钟罩外层和钟罩内层之间设置有钟罩空腔,钟罩空腔分为直筒空腔和封头空腔。本设计的多晶硅还原炉内壁采用银或金材质,对来自硅芯的红外光具有高达90%以上的反射率,可以将大部分来自硅芯的红外辐射保存在还原炉内,能够有效减少还原炉冷却水带走的能量,此外,组分单一的中间层和面层可以阻挡多组分不锈钢或碳钢向物料释放杂质,能够提高多晶硅的纯度。 | ||
搜索关键词: | 一种 节能型 多晶 还原 | ||
【主权项】:
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