[实用新型]一种曝光机自动赶气装置有效
| 申请号： | 202021004569.2 | 申请日： | 2020-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN211786591U | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 谭巨华;田书鼎 | 申请（专利权）人： | 东莞市钜升金属科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京盛凡智荣知识产权代理有限公司 11616 | 代理人： | 屠佳婕 |
| 地址： | 523000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种曝光机自动赶气装置，包括曝光机底座、连接抽真空组件、抽真空工作台和往复式自动赶气组件，所述连接抽真空组件设于曝光机底座上，所述往复式自动赶气组件设于连接抽真空组件上，所述曝光机底座和往复式自动赶气组件之间设有工作区间，所述抽真空工作台设于曝光机底座上，所述往复式自动赶气组件包括往复式驱动组件、贴合式赶气杆、自动赶气轮、赶气驱动组件腔和往复式赶气滑轨，所述往复式驱动组件包括驱动转盘、驱动电机、横向驱动板、滑动块和连接块。本实用新型属于曝光机技术领域，具体是提供了一种可进行往复运动排气并通过角度的可调节性及弹力贴合设置可增强排气贴合度进而增强赶气效果的曝光机自动赶气装置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 曝光 自动 装置 | ||
【主权项】：
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