[实用新型]一种大尺寸硅片金刚线切割装置有效

专利信息
申请号: 202021004873.7 申请日: 2020-06-04
公开(公告)号: CN212826177U 公开(公告)日: 2021-03-30
发明(设计)人: 王伟;张淑荣 申请(专利权)人: 昆山瑞伯恩精密机械有限公司
主分类号: B28D5/04 分类号: B28D5/04;B28D7/00
代理公司: 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 代理人: 王佳丽
地址: 215000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型公开了一种大尺寸硅片金刚线切割装置,其包括本体,本体上设有三切割导辊,三切割导辊呈倒三角排布,上方两切割导辊之间形成切割间隙,金刚线绕在三切割导辊上并在切割间隙形成沿轴向排列的多个有效切割段,升降机构设于切割间隙上方,用于驱动硅棒向下,驱动机构用于驱动三切割导辊交替进行正转和反转,并带动金刚线对硅棒进行切割。本实用新型大尺寸硅片金刚线切割装置通过设置三切割导辊,将金刚线绕在三切割导辊上并在切割间隙形成沿轴向排列的多个有效切割段,并通过驱动机构驱动三切割导辊交替进行正转和反转,可将硅棒一次性切割成多个硅片,显著提升切割效率,满足大规模生产的需求。
搜索关键词: 一种 尺寸 硅片 金刚 切割 装置
【主权项】:
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