[实用新型]一种真空镀膜机工件治具转舱机械手有效
| 申请号： | 202021007521.7 | 申请日： | 2020-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN213259486U | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 李志方;陈思;陸创程;冯晓庭 | 申请（专利权）人： | 广东汇成真空科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B25J9/02 | 分类号： | B25J9/02;B25J15/08;C23C14/56 |
| 代理公司： | 广州知友专利商标代理有限公司 44104 | 代理人： | 周克佑 |
| 地址： | 523820 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空镀膜机工件治具转舱机械手，所述机械手通过其自身所具有的前后伸缩上下升降和旋转及沿导轨平移的运动功能，上、下爪手的卡口以及治具设计对应插杆上的卡块，以及上、下爪手之间的支撑板提供有力支撑和主框架及其底座的承载,实现了单个大型治具的夹取，并能精准转移到达某一功能舱室安装后再返回进行下一治具的夹取，所述真空镀膜机的机械手适用于单挂体积或重量较大的治具，且该类镀膜机由于不需要将整个工件架整体输送，故不需要特别设计尺寸过大的舱门，降低了造价，所述治具的转舱方法，有效减少了破真空的次数，通过对治具在加热舱加热再分送至各不同膜系的镀膜舱同时进行不同膜系的镀膜，大幅度提升了加工效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 机工 件治具转舱 机械手 | ||
【主权项】：
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