[实用新型]一种化学气相沉积炉的粉尘收集装置有效
| 申请号： | 202021013623.X | 申请日： | 2020-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN213193032U | 公开（公告）日： | 2021-05-14 |
| 发明（设计）人： | 贺鹏博;周帆 | 申请（专利权）人： | 湖南铠欣新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | B01D50/00 | 分类号： | B01D50/00;C23C16/00 |
| 代理公司： | 长沙轩荣专利代理有限公司 43235 | 代理人： | 张勇 |
| 地址： | 413000 湖南省益阳市高*** | 国省代码： | 湖南;43 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供一种化学气相沉积炉的粉尘收集装置。化学气相沉积炉的粉尘收集装置，包括：沉积炉本体；连接管，所述连接管固定安装在所述沉积炉本体的顶部；收集箱，所述收集箱设于所述沉积炉本体的一侧，所述连接管远离所述沉积炉本体的一端延伸至所述收集箱内。本实用新型提供的化学气相沉积炉的粉尘收集装置通过设置第一滤布，能够将粉尘阻挡在收集箱内，设置多个清理丝，能够使得第一滤布能够保持良好的通透性，从而避免较多的粉尘附着在第一滤布上；设置第二滤布，能够使风机在关闭的情况下，粉尘回流到沉积炉本体内；设置V形板，使得进入收集箱内的粉尘大部分被阻挡在V形板的下方，更有利于粉尘的沉降。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 沉积 粉尘 收集 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于湖南铠欣新材料科技有限公司，未经湖南铠欣新材料科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202021013623.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种农村生活污水处理装置
- 下一篇：一种轮胎生产用焊接设备
