[实用新型]一种显影机的新型喷淋装置有效

专利信息
申请号: 202021022654.1 申请日: 2020-06-07
公开(公告)号: CN212112129U 公开(公告)日: 2020-12-08
发明(设计)人: 周红;赵国安;孙卫东 申请(专利权)人: 安徽威控机械设备有限责任公司
主分类号: G03F7/30 分类号: G03F7/30
代理公司: 铜陵市天成专利事务所(普通合伙) 34105 代理人: 范智强
地址: 244000 安徽省铜*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 实用新型公开了一种显影机的新型喷淋装置,包括呈上下交叉对称设置的喷淋盘,所述喷淋盘包括喷淋架,所述喷淋架一端固接喷管接头,所述喷淋架内设有若干喷管,所述喷管与基板运动方向的锐角夹角为4~6°,上方喷淋盘的喷管与下方喷淋盘的喷管之间的锐角夹角为8~16°;所述喷管上均匀设置有喷嘴,所述喷嘴出液方向与喷管之间的夹角为90度;所述喷管上设有三通,所述三通通过管道与喷管接头相连;上方喷淋盘的喷嘴和下方喷淋盘互相交错。本结构的喷淋装置其喷嘴的设置实现流出页面的连续均匀且无需摇摆,同时其喷淋区域形成对流区域,有效提高喷淋效果。
搜索关键词: 一种 显影 新型 喷淋 装置
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