[实用新型]一种靶材塑封用抽真空装置

摘要

本实用新型涉及靶材生产的技术领域，特别是涉及一种靶材塑封用抽真空装置，其使靶材在有真空塑封的条件下保持良好的状态，便于后续运输等操作，提高可靠性；包括真空机框架、真空工作槽、盖板合页、盖板、盖板把手架、压块、分隔块、间隙块、热塑块、抽气头、抽气管、抽气气泵、排气泵和排气栅，真空机框架顶端设置有真空工作槽，盖板内端的压块两侧分别与一组分隔块内端相连接，真空工作槽底端中后部与热塑块底端相连接，真空工作槽底端后部与抽气头顶端相接，抽气头底端与抽气管顶端相连通，抽气气泵底端与真空机框架内部底端后侧相连接，真空机框架后端下部与排气栅内端相连接，排气泵输出端与排气栅相连通。