[实用新型]一种硅片边抛补液系统有效
| 申请号： | 202021052012.6 | 申请日： | 2020-06-10 |
| 公开（公告）号： | CN212497255U | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 王彦君;张宏杰;武卫;孙晨光;刘建伟;由佰玲;刘园;常雪岩;谢艳;杨春雪;刘秒;裴坤羽;祝斌;刘姣龙;吕莹;徐荣清 | 申请（专利权）人： | 天津中环领先材料技术有限公司;中环领先半导体材料有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/02 | 分类号： | B24B57/02;B24B9/06;B24B29/02;B24B1/00 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 300384 天津市滨海*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种硅片边抛补液系统，包括补充液盛装装置、边抛液PH检测装置、边抛液供给箱、供液动力装置和控制装置，其中，边抛液PH检测装置设于边抛液供给箱上，对边抛液供给箱中的边抛液的PH值进行检测；供液动力装置分别与边抛液供给箱和补充液盛装装置连接，为边抛液供给箱供给补充液；边抛液PH检测装置与供液动力装置均与控制装置电连接，控制装置根据边抛液PH检测装置检测的边抛液PH值信号控制供液动力装置动作。本实用新型的有益效果是结构简单，使用方便，方便安装和维修，具有供液动力装置、边抛液PH检测装置和流量检测装置，能够根据检测到的边抛液的PH值是否在设定的上限值和下限值内，控制供液动力装置动作，对边抛液的PH值进行调节。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 补液 系统 | ||
【主权项】：
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