[实用新型]一种用于微量杂质置换的真空管路系统

摘要

本实用新型涉及一种用于微量杂质置换的真空管路系统，属于气体管路系统技术领域。本实用新型所述管路系统包括真空泵、弯管、真空进气主管、一个以上待抽空设备单元、抽空主阀、真空计以及排气单元，真空进气主管、真空泵、排气单元依次连接，抽空主阀和真空计安装在真空进气主管上，待抽空设备单元通过向上的弯管与真空进气主管连接，弯管设计避免了焊渣和铁锈进入抽空控制阀，从而提高阀门的使用寿命；待抽空设备单元安装位置的合理布局，可以减少真空度的损耗；该管路系统所增设的安全阀和缓冲罐能够避免高压气体对真空泵的冲击，改善抽真空效果。