[实用新型]三轴磁场传感器有效
| 申请号： | 202021070425.7 | 申请日： | 2020-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN212433375U | 公开（公告）日： | 2021-01-29 |
| 发明（设计）人： | 李大来;蒋乐跃 | 申请（专利权）人： | 新纳传感系统有限公司 |
| 主分类号： | G01R33/07 | 分类号： | G01R33/07 |
| 代理公司： | 苏州简理知识产权代理有限公司 32371 | 代理人： | 朱亦倩 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种三轴磁场传感器，其包括：第一导电类型衬底；第一垂直霍尔传感器，其包括延伸至第一导电类型衬底内的第一个第二导电类型阱，以及沿延伸至第一个第二导电类型阱内的第一组第二导电类型端口；第二垂直霍尔传感器，其包括延伸至第一导电类型衬底内的第二个第二导电类型阱，以及延伸至第二个第二导电类型阱内的第二组第二导电类型端口；平面霍尔传感器，其包括延伸至第一导电类型衬底内的第三个第二导电类型阱，以及延伸至第三个第二导电类型阱内的第三组第二导电类型端口。与现有技术相比，本实用新型不仅可以实现探测三轴磁场，而且制备工艺简单，零点不受强磁场干扰的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 磁场 传感器 | ||
【主权项】：
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