[实用新型]一种多台单晶炉抽气管道有效
| 申请号： | 202021076098.6 | 申请日： | 2020-06-11 |
| 公开（公告）号： | CN212476956U | 公开（公告）日： | 2021-02-05 |
| 发明（设计）人： | 苏腾;肖贵云;卢亮;邹江华;祝建华;张涛;金浩 | 申请（专利权）人： | 晶科能源有限公司;浙江晶科能源有限公司 |
| 主分类号： | C30B35/00 | 分类号： | C30B35/00 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 孔祥贵 |
| 地址： | 334100 江西*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种多台单晶炉抽气管道，包括n台并联连接的单晶炉(1)和n‑1台并联连接的真空泵(2)，n台所述单晶炉(1)构成单晶炉(1)模块，n‑1台所述真空泵(2)构成真空泵(2)模块，所述单晶炉(1)模块和所述真空泵(2)模块通过管道串联连接，每台单晶炉(1)和每台真空泵(2)所在的支路上均设置有调节阀(3)，n为大于等于3的自然数。应用本实用新型实施例所提供的技术方案，n台单晶炉(1)配备n‑1台真空泵(2)进行抽真空和保压操作，节约了一台真空泵(2)和其他生产资源，降低了每台单晶炉(1)的设备成本，节约单晶炉(1)生产过程中的电能和氩气等资源消耗。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多台单晶炉抽气 管道 | ||
【主权项】：
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