[实用新型]一种干膜曝光系统有效

专利信息
申请号: 202021085760.4 申请日: 2020-06-13
公开(公告)号: CN212658941U 公开(公告)日: 2021-03-05
发明(设计)人: 李贵;丛翼;杨长林;倪超剑 申请(专利权)人: 安徽省华兴达光电有限公司
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 杭州君度专利代理事务所(特殊普通合伙) 33240 代理人: 马聪
地址: 234000 安徽省宿州*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 实用新型涉及一种干膜曝光系统,包括冷镜、固定在横梁上的椭圆集光器、灯体、竖直反射镜和平行反射镜,灯体上方通过椭圆集光器连接有呈倾斜设置的冷镜,冷镜上的照射光穿过平面积光器和竖直反射镜并延伸至平行反射镜上,平行反射镜之间设有曝光照射面,灯体包括灯管,灯管一侧通过导线连接有端子,灯管另一侧通过灯管套盖连接有固定座,固定座和灯管套盖之间通过螺纹连接的方式进行固定,灯管外壁边缘通过内水套连接有外水套,内水套和外水套之间设有置于壳体内部的冷却液,冷却液通过循环泵的方式在灯体内部实现流动。有益效果:本实用新型能够有效及时的进行散热,聚光效果好,提高了曝光的工作效率,有利于产品质量的提高。
搜索关键词: 一种 曝光 系统
【主权项】:
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