[实用新型]一种用于大型气相沉积炉的可调式导气装置

摘要

本实用新型公开了一种用于大型气相沉积炉的可调式导气装置，其包括“Z”形的可伸缩式导气管组件；本实用新型的有益效果：本实用新型结构简单，设计可伸缩式导气管组件，可根据气柱偏移的位置调节长度，使进气口位于产品中心，保证每柱产品内有且只有一个进气口，确保炉内产品均匀通气，沉积效果良好，产品表面炭黑减少或无炭黑；提高了产品的沉积质量，值得大范围推广使用。