[实用新型]一种砷化镓晶体生长设备有效
| 申请号： | 202021102937.7 | 申请日： | 2020-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN213172686U | 公开（公告）日： | 2021-05-11 |
| 发明（设计）人： | 马争荣;王建玲 | 申请（专利权）人： | 高密普特电子设备有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/42 | 分类号： | C30B29/42;C30B15/30;C30B15/32 |
| 代理公司： | 济南诚智商标专利事务所有限公司 37105 | 代理人： | 殷盛江 |
| 地址： | 261500 山东省潍坊*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及砷化镓技术领域，且公开了一种砷化镓晶体生长设备，包括固定板，所述固定板的顶部固定安装有数量为两个的支撑臂，两个所述支撑臂的内侧固定安装有支撑架，所述支撑架的内侧固定安装有限位环，所述限位环的内部活动安装有滚珠，所述坩埚的下方且位于固定板的顶部固定安装有第一电机。该砷化镓晶体生长设备，通过设置第一电机、支撑架、限位环和滚珠，使得坩埚可以旋转，设置连接杆和第二电机，使得籽晶夹持器可以旋转，设置升降板、升降杆和液压缸，使得籽晶夹持器可以在旋转的过程中进行升降操作，方便采用直拉法的方式进行晶体的生长使得操作更为的简单，减少操作人员学习机器的操作时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 砷化镓 晶体生长 设备 | ||
【主权项】：
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