[实用新型]一种电子级AHF气体多级过滤器有效
申请号: | 202021120992.9 | 申请日: | 2020-06-17 |
公开(公告)号: | CN212701057U | 公开(公告)日: | 2021-03-16 |
发明(设计)人: | 刘奕丰;胡侃中;吴俊贤;李文斌;郑义达;骆彦成 | 申请(专利权)人: | 福建天甫电子材料有限公司 |
主分类号: | B01D46/54 | 分类号: | B01D46/54;B01D46/12;B01D46/00;B01D46/48 |
代理公司: | 厦门原创专利事务所(普通合伙) 35101 | 代理人: | 徐东峰 |
地址: | 364000 福建省龙岩*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种电子级AHF气体多级过滤器,包括分离塔,所述分离塔右侧的底部固定连接有第一输气管,第一输气管的中部安装有第一密封阀,分离塔底部的左侧固定连接进气管,进气管的中部安装有单向阀,分离塔顶部的左侧固定连接有第二输气管,第二输气管的中部安装有第二密封阀,分离塔的内腔设置有聚集碗,聚集碗顶部的正中设置有分离膜,分离膜的顶部设置有压环,聚集碗的中部套接有吸尘管,吸尘管顶部的两侧对称固定连接有支撑架。本实用新型所述的一种电子级AHF气体多级过滤器,通过第一输气管为分离塔内部输送AHF气体,经由三层分离膜对AHF气体中的颗粒杂质进行拦截,实现AHF气体的洁净输出,为AHF气体的储存使用提供便利。 | ||
搜索关键词: | 一种 电子 ahf 气体 多级 过滤器 | ||
【主权项】:
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