[实用新型]一种气相外延炉用过滤机构

摘要

本实用新型公开了一种气相外延炉用过滤机构，包括进风管道本体，所述进风管道本体内腔的顶部设置有过滤机构，所述过滤机构包括开设在进风管道本体内壁顶部的环形凹槽。本实用新型通过过滤机构的设置，对空气中的灰尘及杂质进行过滤，随后通过限位机构的设置，对框架进行移动，对过滤网本体进行更换，即可达到便于更换和清理滤网的目的，该气相外延炉用过滤机构，解决了现有的气相外延炉在使用过程中，进气口位置多通过螺纹紧固的安装方式对过滤层进行安装，此种安装方式需要频繁转动螺栓对滤网进行拆装，且由于炉内的吸附力，过滤网的表面较容易堆积灰尘杂质，使用者的清理周期较短，不利于使用者使用的问题。