[实用新型]一种晶圆抛光检测工装有效
| 申请号： | 202021129019.3 | 申请日： | 2020-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN212779096U | 公开（公告）日： | 2021-03-23 |
| 发明（设计）人： | 雷超 | 申请（专利权）人： | 苏州市兆丰精密机械有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/30 |
| 代理公司： | 苏州市指南针专利代理事务所(特殊普通合伙) 32268 | 代理人： | 金香云 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供的一种晶圆抛光检测工装，包括工作台、固定支撑架、旋转电机、旋转平台、夹紧销和检测组件；固定支撑架位于工作台上，与固定台固定连接；旋转电机位于工作台的下方，主轴向上延伸；旋转平台位于固定支架上，与旋转电机相连接，跟随旋转电机旋转；夹紧销位于旋转平台上，与旋转平台固定连接，同时对应待检测的晶圆；检测组件位于旋转平台的一侧；与工作台固定连接，对应旋转平台。本实用新型提供的一种晶圆抛光检测工装，通过旋转电机带动旋转平台旋转，利用红外感应器设定平面范围，晶圆在范围内旋转，一旦超出范围就会形成报警，关闭电机，提高检测效率和准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 检测 工装 | ||
【主权项】：
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