[实用新型]一种晶圆清洗检测装置

摘要

本实用新型提供的一种晶圆清洗检测装置，包括检测台、夹具组件和检测组件；所述的夹具组件位于所述的检测台上，与所述的检测台相连接，对应待检测的晶圆；所述的检测组件位于所述的检测台的中心，一侧抵触在待检测的晶圆表面，做自由转动。本实用新型提供的一种晶圆清洗检测装置，通过旋转电机带动检测块在环形槽内旋转，检测块两端的检测凸台就对应在晶圆的表面上，若高检测面不触碰晶圆或低检测面触碰到晶圆，则晶圆检测不合格，若高检测面触碰晶圆同时低检测面不触碰晶圆，则检测合格，不合格时感应器会想报警器发送消息，停止旋转电机旋转，如此可以快速自动检测，提高检测效率。