[实用新型]上料装置及上下料装置

摘要

本申请提供了一种上料装置及上下料装置，包括用于输入载满待处理的硅片的花篮的物料输入机构，物料输入机构包括沿水平方向间隔布置的第一输入线和第二输入线；同时，上下料装置还包括翻转机构，能够提取花篮，并将花篮翻转180°；如此，第一输入线输入的花篮，以及经过翻转机构翻转的花篮，其顶面和底面相反，对应的，两个花篮中的硅片面向也相反；上下料装置还包括搬运机构，搬运机构接取这两组待处理的硅片时，其中一组硅片的第一面朝上，而另一组硅片的第二面朝上。一方面，通过设置两组输入线，能够提高上料效率；另一方面，由于两组工作线最终供给的硅片面向不同，满足了特殊工艺的需要。