[实用新型]一种用于扫描电镜观察背散射电子像的样品座有效
| 申请号： | 202021142109.6 | 申请日： | 2020-06-16 |
| 公开（公告）号： | CN213364632U | 公开（公告）日： | 2021-06-04 |
| 发明（设计）人： | 周固;李崧 | 申请（专利权）人： | 北京师范大学 |
| 主分类号： | G01N23/20025 | 分类号： | G01N23/20025;G01N23/203 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100875 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于扫描电镜观察背散射电子像的样品座。该样品座由高角度样品预倾斜放置面和背散射电子反射板组成。合理选择样品和背散射电子反射板的方位可以得到最大的背散射电子检测效率。本发明的目的是利用扫描电镜中已有的二次电子检测器接收背散射电子像，无需改动扫描电镜的电子光学结构即可获得较好的检测效率。本样品座结构简单，成本低，易于操作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 扫描电镜 观察 散射 电子 样品 | ||
【主权项】：
暂无信息
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