[实用新型]一种振动检测装置有效
| 申请号： | 202021148455.5 | 申请日： | 2020-06-19 |
| 公开（公告）号： | CN213422398U | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | 万蔡辛;何政达;刘新华 | 申请（专利权）人： | 无锡韦尔半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01H11/08 | 分类号： | G01H11/08 |
| 代理公司： | 北京成创同维知识产权代理有限公司 11449 | 代理人： | 李镇江 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新吴*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例公开了一种振动检测装置。该振动检测装置包括衬底；背极；以及振膜结构；振膜结构可振动地设置于所述衬底和所述背极之间，并与所述背极形成电容，其中，所述振膜结构包括振膜以及位于所述振膜上表面和/或下表面的至少一个质量块，使所述振动检测装置对3‑12kHz带宽范围的信号敏感，所述振膜上还设置有加强筋，以改变所述振膜的刚性。本实用新型实施例提供的振动检测装置，在振膜的上表面和/或下表面设计有用于增加质量的质量块，以及用于改变振膜刚性的加强筋，形成了新的振膜结构，增加了对振动信号敏感的灵敏度，实现对人类语音范围内的机械/骨骼振动信号敏感。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 振动 检测 装置 | ||
【主权项】：
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