[实用新型]一种SiO2基底PVD镀膜用转动夹具有效
| 申请号： | 202021158166.3 | 申请日： | 2020-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN212834005U | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | 白秋云 | 申请（专利权）人： | 成都超纯应用材料有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50 |
| 代理公司： | 成都睿道专利代理事务所(普通合伙) 51217 | 代理人： | 潘育敏 |
| 地址： | 610200 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及工装基底夹具技术领域，具体而言，涉及一种SiO2基底PVD镀膜用转动夹具，包括圆环支架、基底夹具和电机，所述圆环支架与镀膜机真空腔的内壁固定连接，所述基底夹具与所述圆环支架转动连接，所述电机的输出端设有第一锥齿轮，所述第一锥齿轮与所述圆环支架同轴；所述基底夹具的一端设有第二锥齿轮，所述第二锥齿轮的轴向与所述基底夹具的载物面平行，且所述第一锥齿轮和所述第二锥齿轮啮合。通过电机带动锥齿轮转动,进而带动基底夹具在圆环支架上翻转,使得基底夹具上的基底翻转180°,便于对基底的另一板面进行镀膜,在操作时,无需将基底夹具和基底从真空腔中拿出进行翻面,也无需进行两次抽真空,简化操作过程,提高镀膜效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 sio2 基底 pvd 镀膜 转动 夹具 | ||
【主权项】：
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