[实用新型]一种真空镀膜机柱状靶的活动遮挡板装置有效
| 申请号： | 202021159734.1 | 申请日： | 2020-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN214060631U | 公开（公告）日： | 2021-08-27 |
| 发明（设计）人： | 陸创程;冯晓庭;李运俊;陈思;李志荣 | 申请（专利权）人： | 广东汇成真空科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/32 |
| 代理公司： | 广州知友专利商标代理有限公司 44104 | 代理人： | 周克佑 |
| 地址： | 523820 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空镀膜机柱状靶的活动遮挡板装置，其顶轴承座、底轴承座、两轴承、齿轮共同构成一轴承组件，所述转轴、活动遮挡板、连接板共同构成一活动遮挡板组件，轴承组件和所述活动遮挡板组件成对设置，两活动遮挡板组件成镜面对称，还包括设置于所述安装板相对轴承组件另一侧的、其活塞杆贯穿安装板后位于两齿轮之间的气缸，以及设置于所述活塞杆末端的、且与所述齿轮啮合的双面齿条，通过采用双活动遮挡板开合式设计,采用气缸驱动双面齿条以带动齿轮旋转，再带动转轴转动活动遮挡板的设计，避免因不同心安装而造成的卡壳，避免了两活动遮挡板出现转动卡壳问题，更适于现在流行的孪生磁控双靶结构，可同时实现双靶屏蔽。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 柱状 活动 遮挡 装置 | ||
【主权项】：
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