[实用新型]一种芯片检测装置

摘要

本实用新型公开了一种芯片检测装置，包括支架体、线路板、探针座和至少二探针片；线路板固定设置在支架体上，探针座设置在支架体上；探针片具有相互绝缘设置的多个探针，探针座开设有至少二探针孔组，每一探针孔组对应一探针片并开设有相互绝缘的探针孔，每一探针孔中填设有一导电连接端，导电连接端与线路板的线路连接；探针座上可拆卸地安装一探针片，探针的第二端插入一探针孔中并与探针孔中的导电连接端导电连接。巧妙调整了现有探针卡的结构，通过设计多个探针片共用一个探针座，在很大程度上适应晶圆上或者封装前的多种不同设计的芯片，不需要每次都新设计专用探针卡，从而提升了芯片检测装置的通用性，能够节约测试成本和提升测试效率。