[实用新型]一种激光光源光学成膜直接监控装置有效
| 申请号： | 202021179057.X | 申请日： | 2020-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN212692795U | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | 吴萍;長家武彦;徐波;張詠麟;佐藤文哉;上川尚;河崎直樹;汪洋;龙汝磊;江耔昊;潘书跃;马辉 | 申请（专利权）人： | 光驰科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 上海申蒙商标专利代理有限公司 31214 | 代理人： | 周宇凡 |
| 地址： | 200444 上海市宝*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其是一种激光光源光学成膜直接监控装置，其特征在于：所述监控系统包括激光光源发送器和激光光源接收器，所述激光光源发送器和所述激光光源接收器之间形成激光监控光路，所述激光光源接收器连接有将所述激光监控光路的光信号转化为可反映所述镀膜基片上薄膜厚度信息的数据处理器。本实用新型的优点是：监控精度高，且不需要调整光轴，使用方便；还可以在镀膜过程进行中间测量光谱，进行修正，提高镀膜精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 光源 学成 直接 监控 装置 | ||
【主权项】：
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