[实用新型]一种光刻胶保温装置有效
申请号: | 202021184453.1 | 申请日: | 2020-06-23 |
公开(公告)号: | CN212606710U | 公开(公告)日: | 2021-02-26 |
发明(设计)人: | 吴永利 | 申请(专利权)人: | 芯米(厦门)半导体设备有限公司 |
主分类号: | B65D25/10 | 分类号: | B65D25/10;B65D25/02;B65D81/38;B65D6/06 |
代理公司: | 厦门仕诚联合知识产权代理事务所(普通合伙) 35227 | 代理人: | 吴圳添 |
地址: | 361000 福建省厦门市火炬*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种光刻胶保温装置,包括主箱、滑屉、控制箱、辅助盒、第一配合件、第二配合件、底连筒、加工台和限位机构,本实用新型通过优化设置了限位机构,安装口便于竖直放置光刻胶容器,且在安装口两侧均装设有推板、挤压板,利用两侧的传动配合结构控制推板、挤压板位移对安装口上的光刻胶容器收紧固定,简便固定放置光刻胶容器,使用效果好;通过优化设置了滑屉,不规则件上的环圈与安装口配合使得光刻胶容器能够合理保持一定的放置方向,在主箱内的内部配合效果好。 | ||
搜索关键词: | 一种 光刻 保温 装置 | ||
【主权项】:
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