[实用新型]皮拉尼真空计连接装置和炉管机台有效
| 申请号： | 202021187279.6 | 申请日： | 2020-06-23 |
| 公开（公告）号： | CN212030813U | 公开（公告）日： | 2020-11-27 |
| 发明（设计）人： | 刘晨成 | 申请（专利权）人： | 和舰芯片制造（苏州）股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L21/12 | 分类号： | G01L21/12;H01L21/67;C23C14/54;C23C16/52 |
| 代理公司： | 北京连和连知识产权代理有限公司 11278 | 代理人： | 刘小峰 |
| 地址： | 215025 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种皮拉尼真空计连接装置和炉管机台。所述装置包括：设置有管状传感器的皮拉尼真空计、炉管、弯管和紧固件；所述管状传感器通过所述紧固件与弯管的一端连通；所述弯管的另一端通过所述紧固件与炉管的管口连通。本实用新型的皮拉尼真空计连接装置和炉管机台，通过在皮拉尼真空计与炉管的管口之间增加弯管，使得皮拉尼真空计与炉管的管道形成夹角，生产过程中炉管内通入的气体优先在弯管内形成沉积，有效的改善了皮拉尼真空计易堵塞的问题，延长了皮拉尼真空计的使用寿命，降低了生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 皮拉尼 真空计 连接 装置 炉管 机台 | ||
【主权项】：
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