[实用新型]一种水平式硅片石英舟装卸片自动化工作线

摘要

本实用新型公开了一种水平式硅片石英舟装卸片自动化工作线，包括平行设置的上料输送线和下料输送线，所述上料输送线和所述下料输送线一侧设置有装卸机器人，所述装卸机器人两侧设置有对称的丝杆，所述丝杆上均滑动设置有翻转装置，所述丝杆上方设置有龙门架，所述龙门架上滑动设置有移动架，所述移动架上设置有搬运装置，所述龙门架下方设置有对接交替轨道，所述对接交替轨道一侧设置有硅片反应装置。本实用新型结构合理、简单，操作便捷，能够对硅片进行快速有效的运输及处理。