[实用新型]薄膜太阳能电池钢化炉有效
申请号: | 202021210798.X | 申请日: | 2020-06-24 |
公开(公告)号: | CN212476523U | 公开(公告)日: | 2021-02-05 |
发明(设计)人: | 刘壮 | 申请(专利权)人: | 西安中易建科技有限公司 |
主分类号: | C03B27/04 | 分类号: | C03B27/04 |
代理公司: | 北京知果之信知识产权代理有限公司 11541 | 代理人: | 崔金 |
地址: | 710000 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本申请公开了一种薄膜太阳能电池钢化炉,该薄膜太阳能电池钢化炉,包括:样片传输机构以及沿样片传输方向依次通过阀门连通的上片区、第一缓冲室、第一加热室、第二加热室、冷却室和下片区;以及,用于将第一缓冲室、第一加热室、第二加热室和冷却室抽成真空的真空系统;用于向第一缓冲室、第一加热室、第二加热室和冷却室充保护气体的送气系统;第一加热室和第二加热室内设置有位于样片传输机构上下两侧的上加热系统和下加热系统。本申请解决了相关技术中钢化设备和钢化工艺会导致薄膜太阳能电池中的光吸收层被氧化以及因应力释放和热膨胀不同导致薄膜损坏的问题。 | ||
搜索关键词: | 薄膜 太阳能电池 钢化炉 | ||
【主权项】:
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