[实用新型]一种衍射光学元件检测系统有效
| 申请号： | 202021221257.7 | 申请日： | 2020-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN212340598U | 公开（公告）日： | 2021-01-12 |
| 发明（设计）人： | 陈展耀;戴书麟;刘风雷 | 申请（专利权）人： | 东莞埃科思科技有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02;G01N21/47 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 崔熠 |
| 地址： | 523000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种衍射光学元件检测系统，属于衍射光学技术领域，包括光源，以及沿光源出射方向依次设置的锥光镜和图像采集器，所述锥光镜包括傅里叶变换透镜组，衍射光学元件设置于所述光源和所述锥光镜之间，且位于所述锥光镜的焦点位置；还包括控制器，所述图像采集器采集通过所述衍射光学元件和所述锥光镜后形成的衍射图像并发送给所述控制器，所述控制器对所述衍射图像进行处理分析以得到所述衍射光学元件的光学性能。衍射光学元件检测系统可以有效的消除不同衍射级之间的位置畸变和光斑的变形、拉伸等现象，可有效的提供衍射光学元件性能检测的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 衍射 光学 元件 检测 系统 | ||
【主权项】：
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