[实用新型]一种高温密封石英管内压力检测装置及包含它的磷化铟多晶生产装置有效
| 申请号： | 202021237470.7 | 申请日： | 2020-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN212560516U | 公开（公告）日： | 2021-02-19 |
| 发明（设计）人： | 乔印彬 | 申请（专利权）人： | 中锗科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/40 | 分类号： | C30B29/40;C30B28/14 |
| 代理公司： | 南京中律知识产权代理事务所(普通合伙) 32341 | 代理人： | 李建芳 |
| 地址： | 211299 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种高温密封石英管内压力检测装置及包含它的磷化铟多晶生产装置，高温密封石英管内压力检测装置，包括石英管、内螺纹连接管、弹片压力变送器和密封垫片；石英管一端为高温端、另一端为低温端；内螺纹连接管一端与石英管的低温端对接连通、另一端外围设有第一法兰；弹片压力变送器一端为接线端、另一端设有弹片，弹片压力变送器的侧壁上设有第二法兰；弹片压力变送的弹片从螺纹连接管伸入石英管内、且弹片压力变送的侧壁与螺纹连接管之间螺纹连接，密封垫片密封在第一法兰和第二法兰之间。上述装置可根据检测到的管内压力实时调整石英管外压力，保证合成中石英管内外压力平衡，有效避免“炸管”风险；提高了合成率和产量，提高了生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高温 密封 石英管 压力 检测 装置 包含 磷化 多晶 生产 | ||
【主权项】：
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