[实用新型]一种适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟装置有效
| 申请号： | 202021239601.5 | 申请日： | 2020-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN212874459U | 公开（公告）日： | 2021-04-02 |
| 发明（设计）人： | 刘景博;王玉明;陈晖 | 申请（专利权）人： | 苏州拓升智能装备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/677 | 分类号： | H01L21/677;H01L21/67;H01L31/18;C23C16/54 |
| 代理公司： | 北京远大卓悦知识产权代理有限公司 11369 | 代理人： | 孔凡玲 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种适用于管式PECVD设备的石墨舟推舟装置，包括：推舟承重机构，其包括偶数根平行且间隔设置的推舟杆；以及推舟夹持机构，其包括连接杆以及依次套设于连接杆上的至少两个夹持连接件；其中，所述连接杆的一端连接有推舟固定机构，另一端通过所述夹持连接件与所述推舟杆相连；每个所述夹持连接件包括主连接套以及关于所述主连接套对称布置的偶数个夹持连接套，两两所述夹持连接套相结合并一体式地结合至所述主连接套的外周，每个夹持连接件上的夹持连接套的数目与推舟杆的数目相对应。根据本实用新型，其在提高了推舟杆装配稳定性的同时也提高了连接杆的装配稳定性，最终提高了石墨舟推舟装置在承托多组石墨舟时的稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 适用于 pecvd 设备 石墨 舟推舟 装置 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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