[实用新型]一种蓝宝石单晶片的退火电磁感应加热系统有效
| 申请号： | 202021251868.6 | 申请日： | 2020-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN212955448U | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 左洪波;杨鑫宏;李铁;李岩 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨秋冠光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/02 | 分类号： | C30B33/02;C30B29/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 150001 黑龙江*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种蓝宝石单晶片的退火电磁感应加热系统。它包括电磁感应加热系统和设置在其内的一组退火工装，一组退火工装包括垂直设置的至少一个退火工装，退火工装为“凹”字形结构，内外边都是正方形结构，中间一个凹槽，凹槽的内表面镶嵌有铁环层，铁环层包括一层镶入凹槽底面的分布均匀但彼此绝缘的微米级铁环，蓝宝石晶体片装在退火工装内，电磁感应加热系统包括可调节参数的交变磁场。本实用新型可以提高蓝宝石单晶片的退火质量，同时有效地降低退火工艺的综合成本等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 蓝宝石 晶片 退火 电磁感应 加热 系统 | ||
【主权项】：
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