[实用新型]自混合干涉测量传感器有效
| 申请号： | 202021252757.7 | 申请日： | 2020-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN213274291U | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 谈飞;A·拉弗莱奎尔;林劲翰;K·里昂;M·A·德拉德尔;李卫平 | 申请（专利权）人： | 苹果公司 |
| 主分类号： | G01D5/26 | 分类号： | G01D5/26 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 邹丹 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及用于感测应用的自混合干涉设备。本文公开了自混合干涉测量(SMI)传感器，诸如可包括垂直腔面发射激光(VCSEL)二极管和谐振腔光电探测器(RCPD)。本实用新型公开了VCSEL二极管和RCPD的结构。在一些实施方案中，VCSEL二极管和RCPD横向相邻并由在公共基板上外延形成的一组公共半导体层形成。在一些实施方案中，第一VCSEL二极管和第二VCSEL二极管横向相邻并由在公共基板上外延形成的一组公共半导体层形成，并且RCPD形成在所述第二VCSEL二极管上。在一些实施方案中，VCSEL二极管可包括其间具有隧道结层的两个量子阱层。在一些实施方案中，RCPD可与VCSEL二极管垂直地集成。 | ||
| 搜索关键词： | 混合 干涉 测量 传感器 | ||
【主权项】：
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