[实用新型]单晶硅生长炉的二次加料装置有效
| 申请号： | 202021272964.9 | 申请日： | 2020-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN213388966U | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 刘军波;牛照伦;王三朋 | 申请（专利权）人： | 宁晋晶兴电子材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/02 | 分类号： | C30B15/02;C30B29/06 |
| 代理公司： | 北京市万慧达律师事务所 11111 | 代理人： | 张一帆 |
| 地址： | 055550 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本实用新型公开单晶硅生长炉的二次加料装置，包括石英筒，所述石英筒的底部设有石英锥，所述石英锥与所述石英筒围构成硅料盛放区，所述石英筒中穿设有与其同轴设置的连杆，所述连杆的底端连接所述石英锥，所述连杆用于在外力的作用下推拉所述石英锥以储料和卸料，其中，所述石英筒包括上筒和下筒，所述上筒和所述下筒可拆卸连接。本实用新型提供的二次加料装置易于维护，且维护成本低。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶硅 生长 二次 加料 装置 | ||
【主权项】：
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