[实用新型]一种可调节靶材组件

摘要

本实用新型公开了一种可调节靶材组件，包括靶材组和背板组，靶材组设置在背板组上，靶材组包括第一子靶材和围绕在第一子靶材外侧的第二子靶材，背板组包括第一背板和第二背板，第一子靶材对应第一背板，第二子靶材对应第二背板，工作台上设置有电机，电机上设置有螺杆，螺杆一端活动连接在第一背板上，升降台上与螺杆对应的位置设置有内螺纹，升降台上与第二背板对应的位置设置有支撑件。本实用新型结构简单，在使用过程中可以随时调节第二子靶材的高度，保证使用时第二子靶材与第一子靶材的上端面一直保持平齐，即保持靶材组与工件位置保持一致，有效解决由于靶材消耗导致靶材表面磁场的变化，可以达到靶材表面磁场始终在控制范围内。