[实用新型]一种新型氮氧化物传感器芯片空腔装置有效
| 申请号： | 202021288244.1 | 申请日： | 2020-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN212958819U | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 谢光远;尹亮亮;邱电荣;张宇明;王晓宁 | 申请（专利权）人： | 镇江芯源诚达传感科技有限公司 |
| 主分类号： | F01N11/00 | 分类号： | F01N11/00;F01N13/00 |
| 代理公司： | 北京哌智科创知识产权代理事务所(普通合伙) 11745 | 代理人： | 宗兵 |
| 地址： | 212000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种新型氮氧化物传感器芯片空腔装置，在底基片的上端两侧分别固定连接侧板，并在侧板内侧的底基片上端分别依次设置第一狭缝胶片、空腔层、第二狭缝胶片和顶基片，第一狭缝胶片和第二狭缝胶片以及空腔层的第一空腔体和第二空腔体均为热挥发性材料所制成的构件，第一狭缝胶片和第二狭缝胶片热解挥发后在空腔层的第一空腔和第二空腔上下两端分别形成第一狭缝和第二狭缝用于排气，调节狭缝截面的长宽，一方面便于制作，一方面保证功能实现，狭缝胶片的挥发温度低于空腔体的挥发温度，实现了狭缝胶片空腔体的层次性挥发，有效控制器挥发量，避免一次性挥发后导致陶瓷排胶烧结阶段撑破叠合层引起芯片基本功能结构失效的麻烦。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 氧化物 传感器 芯片 空腔 装置 | ||
【主权项】：
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