[实用新型]一种磨针台及探针台有效
申请号: | 202021296869.2 | 申请日: | 2020-07-06 |
公开(公告)号: | CN212762766U | 公开(公告)日: | 2021-03-23 |
发明(设计)人: | 吴贵阳 | 申请(专利权)人: | 矽电半导体设备(深圳)股份有限公司 |
主分类号: | B24B27/033 | 分类号: | B24B27/033;B24B19/16;B24B47/12;B24B41/02 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 518172 广东省深圳市龙岗区龙城街*** | 国省代码: | 广东;44 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种磨针台及探针台。一种磨针台,压电陶瓷部连接于设置有导向部的磨针部,所述压电陶瓷部驱动所述磨针部沿导向部往复运动。一种探针台,所述探针台设置有上述的磨针台。本实用新型的有益效果在于,结构简单,清针效率高。 | ||
搜索关键词: | 一种 磨针台 探针 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于矽电半导体设备(深圳)股份有限公司,未经矽电半导体设备(深圳)股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202021296869.2/,转载请声明来源钻瓜专利网。