[实用新型]一种用于晶圆检测的移动防振平台有效
| 申请号： | 202021303713.2 | 申请日： | 2020-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN213017474U | 公开（公告）日： | 2021-04-20 |
| 发明（设计）人： | 莫景钊;叶纬;莫景新 | 申请（专利权）人： | 广东唯是晶圆科技有限公司 |
| 主分类号： | F16F15/08 | 分类号： | F16F15/08;F16F15/023;F16F15/02 |
| 代理公司： | 北京卓特专利代理事务所(普通合伙) 11572 | 代理人： | 段宇 |
| 地址： | 529000 广东省江门*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于晶圆检测的移动防振平台，包括承托平台、支撑脚及防振座，支撑脚设于所述承托平台底部，支撑脚至少设置两个，相邻的所述支撑脚之间连接有拱形横梁，支撑脚的顶部设有气浮式减振器，承托平台通过气浮式减振器与支撑脚连接，防振座内填充有防振填充料，防振座的顶部设有与支撑脚配合的安装槽，支撑脚设于安装槽内，支撑脚内设有减振弹簧，本实用新型防振效果良好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 检测 移动 平台 | ||
【主权项】：
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