[实用新型]一种陶瓷片浮动机构有效
| 申请号： | 202021305035.3 | 申请日： | 2020-07-06 |
| 公开（公告）号： | CN212693514U | 公开（公告）日： | 2021-03-12 |
| 发明（设计）人： | 吴廷斌;张学强;张建伟;罗银兵;梁齐辉 | 申请（专利权）人： | 罗博特科智能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N3/56 | 分类号： | G01N3/56;G01N3/02;H01L21/66 |
| 代理公司： | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所(普通合伙) 32257 | 代理人： | 王佳丽 |
| 地址： | 215000 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种陶瓷片浮动机构，所述的浮动机构包括左右排列设置的两个滑轨组件、设于两个滑轨组件之间的能够沿所述的滑轨组件上下滑动的陶瓷片固定装置、固定于两个滑轨组件上的浮动安装板，所述的陶瓷片固定装置与所述的浮动安装板之间设置有至少一个弹簧。本实用新型的陶瓷片浮动机构，能够将陶瓷片压在硅片表面，移动浮动机构就能够使陶瓷片与硅片之间产生摩擦，调节浮动机构的高度，就可以调节陶瓷片对硅片表面的压力，准确的测出硅片的耐磨性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 陶瓷 浮动 机构 | ||
【主权项】：
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