[实用新型]具有多阶应力集中区的压力传感器有效
| 申请号： | 202021311220.3 | 申请日： | 2020-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN212458729U | 公开（公告）日： | 2021-02-02 |
| 发明（设计）人： | 李维平;兰之康;李晓波 | 申请（专利权）人： | 南京高华科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/20 | 分类号： | G01L1/20 |
| 代理公司： | 北京中知法苑知识产权代理有限公司 11226 | 代理人： | 李明;赵吉阳 |
| 地址： | 210049 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种具有多阶应力集中区的压力传感器。压力传感器包括衬底、压力敏感单元、绝缘钝化层以及导线层；其中，衬底沿其厚度方向的第一表面设置有空腔，第一表面上设置有压力敏感单元；绝缘钝化层设置在压力敏感单元背离衬底的一侧，绝缘钝化层上设置有贯穿其厚度的金属化过孔，导线层设置在绝缘钝化层背离衬底的一侧，导线层通过金属化过孔与压力敏感单元电连接；并且，绝缘钝化层上还设置有多阶应力集中区，多阶应力集中区与压力敏感单元相对应，以在压力敏感单元处产生应力集中。所设置的多阶应力集中区可以在压力敏感单元处产生应力集中，从而在相同量程的情况下，可以有效提高压力传感器的线性度和灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 应力 集中 压力传感器 | ||
【主权项】：
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