[实用新型]一种改善区熔硅单晶电阻率均匀性的掺杂线圈有效
| 申请号： | 202021311464.1 | 申请日： | 2020-07-07 |
| 公开（公告）号： | CN212955435U | 公开（公告）日： | 2021-04-13 |
| 发明（设计）人： | 张志富;王遵义;刘凯;吴磊;李小龙;陈玉桥;程亚胜;王彦君 | 申请（专利权）人： | 中环领先半导体材料有限公司;天津中环领先材料技术有限公司 |
| 主分类号： | C30B13/12 | 分类号： | C30B13/12;C30B29/06 |
| 代理公司： | 天津滨海科纬知识产权代理有限公司 12211 | 代理人： | 薛萌萌 |
| 地址： | 214200 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种改善区熔硅单晶电阻率均匀性的掺杂线圈，包括线圈本体、冷却水管、铜管、十字切缝，所述线圈本体为中心带有线圈眼的圆环形结构，且表面开设有以所述线圈眼为中心的贯通上下表面的十字切缝，其中相比较其他三条切缝长的一条为主缝，所述主缝延伸至所述线圈本体外，与线圈本体外侧连接电极的法兰连接,所述冷却水管嵌入线圈本体的骨架内,所述铜管横向穿过冷却水管,且在线圈本体内部与另三个切缝一一对应的位置处设有吹气通槽。本实用新型的有益效果为：实现将掺杂气体直接输送到融化单晶处，且因为线圈水路降温的原因，气体不会在线圈内分解造成输送气体异常的情况，可实现对掺杂气体更高效的利用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 改善 区熔硅单晶 电阻率 均匀 掺杂 线圈 | ||
【主权项】：
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