[实用新型]一种钟罩式化学气相沉积炉

摘要

本实用新型提供一种钟罩式化学气相沉积炉。钟罩式化学气相沉积炉，包括：基座；沉淀炉本体，所述沉淀炉本体设在基座的顶部；四个支杆，四个所述支杆均固定安装在基座的顶部，四个所述支杆呈矩形列阵分布；两个对杆，两个所述对杆分别转动安装在四个所述支杆之间；四个圆盘，四个所述圆盘分别固定套设在两个所述对杆上；四个接杆，四个所述接杆分别固定安装在对应的所述圆盘上；四个压杆，四个所述压杆分别焊接在对应的所述接杆上，四个所述压杆均与沉淀炉本体相接触。本实用新型提供的钟罩式化学气相沉积炉具有使用方便、便有将沉淀炉本体压牢、保证沉淀炉整体的密闭性的优点。