[实用新型]一种半导体真空烘烤炉

摘要

本实用新型公开了一种半导体真空烘烤炉，包括炉体、真空泵、箱体和炉腔，所述炉体的内部设置有炉腔，且炉体和炉腔之间形成加热室，所述炉腔内部的顶端固定有温度传感器，所述炉腔的内部均匀设置有放置网板，所述炉体一侧的顶端固定有控制面板，且炉体顶部的一端固定有真空泵，所述冷凝管的底端通过连接管与集水箱连接，且冷凝管的顶端通过第二导气管与真空泵连接。本实用新型通过安装有炉体、炉腔、真空泵、第一导气管、第二导气管、箱体、冷凝室、冷凝管以及集水箱，使得真空泵将炉腔内抽至真空状态时的热蒸汽从第二导气管导入到箱体中的冷凝管中，使其冷凝成水并于集水箱中收集，避免直接排放到空气中造成热污染。