[实用新型]离子源装置有效
| 申请号： | 202021343045.6 | 申请日： | 2020-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN212991033U | 公开（公告）日： | 2021-04-16 |
| 发明（设计）人： | 冀鸣;刘运鸿;刘伟基;范奕生;赵刚;易洪波 | 申请（专利权）人： | 中山市博顿光电科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J27/14 | 分类号： | H01J27/14;H01J27/02 |
| 代理公司： | 北京市立方律师事务所 11330 | 代理人： | 刘延喜 |
| 地址： | 528400 广东省中山市火*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种离子源装置，包括：多个霍尔离子源，至少一个中空阴极以及基座；所述霍尔离子源分布安装在所述基座上，所述中空阴极设于距离所述霍尔离子一设定位置处；多个所述霍尔离子源同时进行覆盖，所述中空阴极为至少一个霍尔离子源提供中和电子，且至少一个中空阴极为多个霍尔离子源提供中和电子。本申请的技术方案，通过多个霍尔离子源的设计方案，可以提高覆盖范围，且采用共用中空阴极设计，也降低了设备成本。 | ||
| 搜索关键词： | 离子源 装置 | ||
【主权项】：
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