[实用新型]35片装立式放置晶圆盒有效
申请号: | 202021343775.6 | 申请日: | 2020-07-10 |
公开(公告)号: | CN213832569U | 公开(公告)日: | 2021-07-30 |
发明(设计)人: | 刘国华;李刚;刘春峰 | 申请(专利权)人: | 荣耀电子材料(重庆)有限公司 |
主分类号: | B65D25/02 | 分类号: | B65D25/02;B65D25/10;B65D43/22;B65D21/032;B65D85/86 |
代理公司: | 深圳市中知专利商标代理有限公司 44101 | 代理人: | 张学群;檀林清 |
地址: | 402460 重庆*** | 国省代码: | 重庆;50 |
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摘要: | 本实用新型提供一种35片装立式放置晶圆盒,包括上盖、片架、底盖,片架放置于底盖内,上盖扣接盖设于底盖的上方;片架的两个片架侧壁的相对面设有35个间距排布的晶圆插槽;上盖的顶面平行于晶圆轴线的两个侧边分别设有35个间距排布、向晶圆轴线方向水平延伸的悬臂弹片,悬臂弹片的端部设有用于夹持和稳定晶圆上部的支撑槽;支撑槽两侧的槽壁向上倾斜外扩形成挡墙,挡墙顶点的垂直投影越过相邻悬臂弹片之间的中心线,使相邻支撑槽的相邻挡墙呈错位互补型。本实用新型在不改变市场现有产品整体尺寸、形状的前提下,实现高密度卡槽设计,具有降低成本、提高存储和运输效率、同时不会发生卡片现象的特点。 | ||
搜索关键词: | 35 立式 放置 晶圆盒 | ||
【主权项】:
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