[实用新型]一种圆形靶材组件有效
| 申请号： | 202021369929.9 | 申请日： | 2020-07-13 |
| 公开（公告）号： | CN212669787U | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;李小萍 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种圆形靶材组件，所述圆形靶材组件包括靶坯以及与靶坯连接的背板；所述背板的焊接面环绕靶坯，镜像分布有至少12个垫圈孔；所述至少12个垫圈孔与圆形靶材组件中心轴的距离相等；所述垫圈孔为凸台状垫圈孔，凸台状垫圈孔的小径端远离背板的焊接面，小径端的厚度与大径端的厚度比为3:(2‑2.5)。本实用新型通过对垫圈孔结构以及布置位置的特定设置，避免了靶材台阶面与陶瓷圈的摩擦，避免了因为靶材组件和陶瓷圈的摩擦产生颗粒物的问题，提高了磁控溅射的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 圆形 组件 | ||
【主权项】：
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