[实用新型]一种线圈固定架和晶片预清洁蚀刻设备有效
| 申请号： | 202021382506.0 | 申请日： | 2020-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN212182281U | 公开（公告）日： | 2020-12-18 |
| 发明（设计）人： | 林俊成;沈佑德;郑耀璿 | 申请（专利权）人： | 鑫天虹（厦门）科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 厦门律嘉知识产权代理事务所(普通合伙) 35225 | 代理人： | 温洁;李增进 |
| 地址： | 361000 福建省厦门市火炬*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提出一种线圈固定架和晶片预清洁蚀刻设备，其中，线圈固定架包括底盘和成对的支撑杆与锁紧件。所述支撑杆呈T型，包括相互连接的头部和调节杆。所述底盘的盘面上设有辐射状的T型槽。所述支撑杆的头部可滑动装入所述T型槽，所述调节杆穿过所述T型槽指向远离所述底盘的方向。所述T型槽至少两条，一条T型槽上至少有一对支撑杆与锁紧件。所述锁紧件可上下调节安装在所述调节杆上，用于锁紧线圈。本实用新型能够依照晶片蚀刻均匀度对线圈进行上下或者左右多方向的调整，能够根据生产需求，独立设置内外圈的线圈高度，且调整结构简单，调整方便。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 线圈 固定 晶片 清洁 蚀刻 设备 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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