[实用新型]无水氢氟酸尾气处理装置有效
申请号: | 202021387647.1 | 申请日: | 2020-07-15 |
公开(公告)号: | CN213132570U | 公开(公告)日: | 2021-05-07 |
发明(设计)人: | 骆彦成;刘奕丰;任建业;胡侃中;吴全贵 | 申请(专利权)人: | 福建天甫电子材料有限公司 |
主分类号: | B01D53/18 | 分类号: | B01D53/18 |
代理公司: | 厦门原创专利事务所(普通合伙) 35101 | 代理人: | 徐东峰 |
地址: | 364000 福建省龙岩*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | 本实用新型提供了一种无水氢氟酸尾气处理装置,包括:常压尾气收集管;喷射器,其进气端与所述常压尾气收集管连接;带压尾气收集管;石墨降膜吸收器,其进气端分别与所述带压尾气收集管以及所述喷射器的出气端连接,所述石墨降膜吸收器还包括一与废气处理单元连接的出气口;设置于所述石墨降膜吸收器外部的冷却循环管路;增浓槽,其顶部的进液口与所述石墨降膜吸收器的出液口相连接,其底部的出液口与回收管路连接。 | ||
搜索关键词: | 无水 氢氟酸 尾气 处理 装置 | ||
【主权项】:
暂无信息
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