[实用新型]无水氢氟酸尾气处理装置有效

专利信息
申请号: 202021387647.1 申请日: 2020-07-15
公开(公告)号: CN213132570U 公开(公告)日: 2021-05-07
发明(设计)人: 骆彦成;刘奕丰;任建业;胡侃中;吴全贵 申请(专利权)人: 福建天甫电子材料有限公司
主分类号: B01D53/18 分类号: B01D53/18
代理公司: 厦门原创专利事务所(普通合伙) 35101 代理人: 徐东峰
地址: 364000 福建省龙岩*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 实用新型提供了一种无水氢氟酸尾气处理装置,包括:常压尾气收集管;喷射器,其进气端与所述常压尾气收集管连接;带压尾气收集管;石墨降膜吸收器,其进气端分别与所述带压尾气收集管以及所述喷射器的出气端连接,所述石墨降膜吸收器还包括一与废气处理单元连接的出气口;设置于所述石墨降膜吸收器外部的冷却循环管路;增浓槽,其顶部的进液口与所述石墨降膜吸收器的出液口相连接,其底部的出液口与回收管路连接。
搜索关键词: 无水 氢氟酸 尾气 处理 装置
【主权项】:
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