[实用新型]真空镀膜装置有效
| 申请号： | 202021412068.8 | 申请日： | 2020-07-16 |
| 公开（公告）号： | CN213590825U | 公开（公告）日： | 2021-07-02 |
| 发明（设计）人： | 宗坚 | 申请（专利权）人： | 江苏菲沃泰纳米科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B05B5/08 | 分类号： | B05B5/08 |
| 代理公司： | 宁波理文知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33244 | 代理人： | 罗京;安威威 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种真空镀膜装置，用于在通过真空泵抽真空的条件下，利用化学单体气体的聚合在待镀膜工件的表面形成聚合物膜层。该真空镀膜装置包括一反应腔室和一管路组件。该反应腔室内设有用于放置该待镀膜工件的支架，并且该反应腔室具有至少一进料口和一或多个抽气口，其中该反应腔室的该进料口用于将该化学单体气体添加至该反应腔室内。该管路组件包括一抽真空管路，其中该抽真空管路适于将该反应腔室的该抽气口与该真空泵连通，以经由该抽气口对该反应腔室进行抽真空。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 装置 | ||
【主权项】：
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